流量传感器
AWM5000 系列
补偿式。0 SLPM 到 20.0 SLPM。模拟输出
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同轴流量测量
AWM5000 系列微桥气体质量流量传感器采用文丘里管型流量外壳。该系列可测量速度高达 20升/每分(SLPM) 且最大压降为 2.25" H2O 的气流。微桥芯片直接与气流接触,大大减少了由于通气孔或旁路堵塞引起的误差。
坚固、通用的封装
坚固的塑料封装被设计为能承受最高 50 psi 的共模压力,且小型传感元件能承受 100 g 的冲击,而不会影响性能。随附的“AMP”兼容连接器可提供超可靠的连接,适用于要求严苛的应用。
内置信号调节
每个 AWM5000 传感器都包括可执行放大、线性化、温度补偿和气体标定功能的电路系统。无论流量范围 (5、10、15 或 20 SLPM) 或校准气体(氮气、二氧化碳、一氧化二氮或氩气)如何,所有产品都可能达到 1 至 5 Vdc 的线性输出。主动激光可进行所有校准。
注意:产品损伤
AWM 系列微桥式气体质量流量传感器不适用于测量液体流量,液体流过传感器时会损坏传感器。
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