流量传感器
AWM3000 系列
补偿式。30 SCCM、200 SCCM、1000 SCCM:0 mbar 至 1.25 mbar,0 mbar 至 5.0 mbar。模拟输出
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同 AWM2000 系列一样,惠斯顿双电桥控制气体流量测量。AWM3000 系列具有放大功能,因此能用于提升增益和将电压偏移引入传感器输出。加热器控制电路和传感桥供电电路位于封装电路板上。
注意:产品损伤
AWM 系列微桥式气体质量流量传感器不适用于测量液体流量,液体流过传感器时会损坏传感器。
不遵守这些说明可能会导致产品受损。
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